氧化铝陶瓷打孔盘是一种为严苛工业环境设计的高性能功能部件。与普通金属或聚合物打孔盘相比,该产品采用纯度大于99%的高纯氧化铝陶瓷材料制造,具有较高的耐磨性、超高的耐温性能(可承受1600°C)以及不错的化学惰性,能够在强酸、强碱及腐蚀性气体环境中长时间保持结构完整性。其精密激光打孔工艺可实现微米级孔径精度(±0.05mm)及定制化孔位布局,确保液体、气体或颗粒介质的高效均匀分布。特别适用于半导体晶圆刻蚀夹具、高温气体过滤系统及燃料电池电极支撑基板等领域。典型应用场景包括高温气体处理中的熔融金属过滤、热处理炉分流,精细化工与医药中的微孔过滤器、催化剂载体,半导体制造中的等离子刻蚀晶圆承载、PVD/CVD夹具,以及新能源设备中的固体氧化物燃料电池双极板、电解槽隔膜。
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