氧化铝陶瓷吸盘片是一款应用于精密搬运系统的革命性产品,采用纯度≥99.9% 的 α-氧化铝陶瓷,并结合工程化多孔结构,实现真空分布。与传统金属或高分子吸盘相比,该陶瓷方案彻底消除了颗粒污染风险,同时可耐受严苛温度(连续工作可达 1750℃)及腐蚀性环境。其微结构(均匀孔径 2–5μm,密度 3.89g/cm³)可实现亚微米级平面度(表面粗糙度 Ra≤0.1μm),是目前可在±0.1μm 吸附精度下搬运 300mm 半导体晶圆的专业吸盘平台。
1. 材料性能突破
热稳定性:在 800℃ 热震循环中无变形,高温工艺环境下使用寿命是合金吸盘的 5 倍。
耐化学性:在 30% 硫酸溶液中浸泡 1 年质量损失小于 0.01g,适用于电池电解液操作及化学气相沉积工艺。
绝缘性能:击穿场强达 40kV/mm,确保在等离子体刻蚀腔体中的安全运行。
2. 工程设计创新
孔隙率控制:采用凝胶注模工艺实现 40% 孔隙率,1–3μm 孔壁结构可防止超薄工件(≤50μm)因吸附产生变形。
智能结构:内置温度传感器,可在 -196℃ 至超高温环境下实现实时热管理。
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